代理產品 / HORIBA STEC
氣體質量流量控制器 (MFC)
HORIBA-STEC提供多種不同類型的氣體質量流量控制器以滿足客户不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控制器皆擁有廣泛的流量範圍，客户可選擇最適合的類型。客户可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣也可提供多種不同的通訊方式，包括類比式、數位式、DeviceNet, 以及PROFIBUS(取決於產品型號)。產品的流量範圍可從微量流量直至超大流量。
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SEC-N100 Series
- 概要10SCCM到1000SLM廣泛的流量控制範圍、擁有下列可選擇的通信方式digital/analog、 DeviceNet™, CC-Link®、PROFIBUS™, EtherCAT®，面向多樣化產業和應用的數位質量流量控制器。
高精度: ± 1.0% S.P.、使用範圍內，一秒內的高速反應、兼具多重範圍和多重氣體機能。 - 特長
- ￭可選擇的通訊方式
digital/analog 、DeviceNet™, PROFIBUS®, CC-Link®, EtherCAT®
- ￭可選擇的通訊方式
- 概要10SCCM到1000SLM廣泛的流量控制範圍、擁有下列可選擇的通信方式digital/analog、 DeviceNet™, CC-Link®、PROFIBUS™, EtherCAT®，面向多樣化產業和應用的數位質量流量控制器。
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SEC-E Series
- 概要高精確度的高熱感測器、搭載螺線管控制閥的全能模範，高精度類比式質量流量控制器。10 SCCM到200SLM的廣域流量控制範圍，可應用於廣泛的產業。
- 特長
- ￭廣泛的流量控制範圍：0.2SCCM～200SLM(N2)
- ￭可對應廣泛用途，並在一般產業中，有許多實績。
- ￭產品陣容中也包含低成本的型號（SEC-E40MK3/E50MK3）
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SEC-400 Series
- 概要搭載溫控閥的類比式質量流量控制器，安定性佳，許多市場皆有應用。
- 特長
- ￭±0.5％F.S. ：SEC-405(限定氣體種類)
- ￭流量控制對應範圍:0.1CCM~200SLM(N2)
- ￭面間距離106mm的小型型號: SEC-300型式
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CRITERION D500
- 概要針對最先進的製程，採用壓差式的高性能的質量流量控制器。具備PI機能、多重氣體・多重範圍・多重壓力、自我檢測機能、實現±1% S.P. 的高精度及0.8秒的應答速度。
- 特長
- ￭PI機能 （Pressure Insensitive）：儘管壓力急遽變動，因搭載最新的安定流量控制演算方法、可省去各種氣流線的壓力控制的設計。實現精簡化的氣體流線。
- ￭多重氣體・多重範圍・多重壓力機能：使用者端可變更氣體種類、全流量、供給壓力範圍。減少備品準備、降低花費。
- ￭自行檢測機能 G-Life (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation)：短時間：3秒內（typical）可完成自我檢測、提高產能
- ￭高精度：±1% S.P.
- ￭高速反應：應答速度：0.8秒以内
- ￭廣域範圍控制：10 SCCM~50 SLM的廣域控制範圍
- ￭豐富的通信方式：Digital/analog、DeviceNet™、EtherCAT®
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SEC-Z500X Series
- 概要根據使用者需求，可變更氣體種類、流量範圍。搭載多重範圍/多重機能的數位質量流量控制器，是最佳銷售的模範。
±1.0%S.P.的高精度、1秒內的高速對應。 實現5SCCM到500SLM的廣域流量範圍。可選擇的通信方式:數位式/類比式通信、DeviceNet™, EtherCAT®。這是不僅可是用於先進製程，也適用於各種製造製程的質量流量控制器。 - 特長
- ￭多重範圍/多重氣體對應：使用者端可自行變更氣體種類及全流量。可減少備品的準備，降低預算。
- ￭廣域流量範圍：微少流量(全流量:5SCCM)至大流量(全流量:500SLM)
- ￭高精度：±1.0% S.P.(設定點)保証
- ￭高速反應：全範圍1秒以内(T98)
- ￭輕巧尺寸：面間距離 106mm(50SLM以下、1/4VCR Type)、可對應1.125inch氣體配電盤。
- ￭超潔淨設計：底部構造採用全不銹鋼，並且內部接觸面皆經過研磨拋光處理
- 概要根據使用者需求，可變更氣體種類、流量範圍。搭載多重範圍/多重機能的數位質量流量控制器，是最佳銷售的模範。
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SEC-Z700X Series
- 概要搭載熱感式流量感測器的質流量模組。並搭載多重顯示器及PI機能、簡單・清亮的氣流線設計。±1% S.P.的高精度、1.0秒的高速反應。
- 特長
- ￭PI機能搭載：儘管壓力急遽變動，因搭載最新的安定流量控制演算方法、可省去各種氣流線的壓力控制的設計。實現精簡化的氣體流線。
- ￭多重範圍/多重氣體機能：使用者端的可變更氣體種類・全範圍的流量。
- ￭全範圍一秒內高速反應
- ￭不需要控制器、壓力計、過濾器，氣流線緊密精簡化。
- ￭不影響1次壓、2次壓的變動
- ￭Inlet Pressure Sensor 搭載
- ￭多重顯示器機能搭載
- ￭超潔淨設計：底部構造採用全不銹鋼，並且內部接觸面皆經過研磨拋光處理
- ￭內藏可控制的網路作業機能、Digital信號
