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超高壓微噴射清洗系統 HPMJ (High Pressure Micro Jet Cleaning System)

所謂超高壓微噴射清洗系統,是指將清洗液用泵浦加压、輸送,利用從微型噴射式噴嘴中噴出的微小液滴化的清洗液,對準物件高速噴射的物理清洗系统。以霧化技術的開發為基礎,使清洗液微粒化,利用其碰撞能量進行清洗。採用非接觸式物理清洗,可對亞微米單位的微小顆粒進行清洗。

精密塗佈系統 (PCS)

分别控制粒子直徑和粒子飛行速度以達到最適當的塗膜技術、利用低壓可以實現更均匀的微粒化的技術,通過與連續穩定供應材料的技術相結合,從而實現納米级的超薄膜乃至數µm级的膜厚。

AF5400S / AF6200S

型號 AF5400S AF6200S
驅動方式 Compressor air pump
壓縮比 01:45 01:33
常用最高吐出壓 15MPa 12MPa
適用洗浄液 純水 ※各種藥劑、溶劑
UNIT 寸法 600(W)×554(L)×1800(H) mm
UNIT 重量 200kg
Air 量 MAX1.6m3/min
電源 標準200V(option 100V)
噴射壓力 MJC400 controller
控制方式 Option 手動 MJC400 controller
最大使用噴嘴數 4個 6個
10MPa時 4個 6個
洗浄液噴射量 4.6l/min 6.9l/min
(10MPa噴射量) 4.6l/min 6.9l/min

MJ2800 / AF2800

型號 MJ2800 AF2800
驅動方式 Compressor  air  pump
壓縮比 01:33
常用最高吐出壓 12MPa
適用洗浄液 純水
UNIT 寸法 380(W)×450(L)×1300(H) mm
UNIT 重量 50kg
Air 量 MAX0.33m3/min
電源 100V~240V
噴射壓力 MJC400 controller
控制方式 MJC400 controller /
最大使用噴嘴數 1個
10MPa時 1個
洗浄液噴射量 1.15l/min
(10MPa噴射量) 1.15l/min

MJ2800T

型號 MJ2800T
驅動方式 Compressor air pump
壓縮比 01:33
常用最高吐出壓 12MPa
適用洗浄液 純水
UNIT 寸法 1200(W)×500(L)×1550(H) mm
UNIT 重量 200kg
Air 量 MAX1.0m3/min
電源 200V
噴射圧力 MJC400 controller
控制方式 MJC400 controller
最大使用噴嘴數 3個
10MPa時 3個
洗浄液噴射量 3.45l/min
(10MPa噴射量) 3.45l/min

rCoater(實驗用)

型號 rCoater(實驗用)
最大適用基板 50mm×50mm
最大稼動範圍 200mm×200mm
最大scan速度 20m/min
噴頭數量 1個
外形寸法 520mm×450mm×570mm ※概寸
本体重量 30kg
仕様分類 成膜裝置/塗佈裝置
option 回轉機構

PCS2020 / PCS3747

型號 PCS2020 PCS3747
最大適用基板 200mm×200mm 370mm×470mm
最大稼動範圍 440mm×540mm 590mm×790mm
最大scan速度 40m/min
噴頭數量 1個
外形寸法(mm) 1500×1600×2095 1550×1800×2155
本體重量 500kg 800kg
仕様分類 成膜裝置/塗佈裝置

PCS5565-MT

型號 PCS5565-MT
最大適用基板 550mm×650mm
最大稼動範圍 700mm×800mm
最大scan速度 40m/min
噴頭數量 1個
外形寸法 1800mm×1850mm×2208mm
本體重量 1200kg
仕様分類 成膜裝置/塗佈裝置

MJT2020 / MJT2035

型號 MJT2020 MJT2035
驅動方式 電動式馬達
常用最高吐出壓 15MPa
適用洗浄液 純水
UNIT 寸法 1600(W)×620(L)×1400(H) mm
UNIT 重量 550kg
電源 200V 7.5kW  
噴射壓力 MJC1000 controller
控制方式 MJC1000 controller
最大使用噴嘴數 20個 28個
洗浄液噴射量 24l/min 33l/min
(10MPa噴射量) 24l/min 33l/min

MJT1570 / MJT2050

型號 MJT1570 MJT2050
驅動方式 電動式馬達
常用最高吐出壓 15MPa 20MPa
適用洗浄液 純水
UNIT 寸法 1700(W)×900(L)×1550(H) mm
UNIT 重量 1000kg
電源 200V 22kW
噴射壓力 MJC3000 controller
控制方式 MJC3000 controller
最大使用噴嘴數 60個 34個
洗浄液噴射量 70l/min 49l/min
(10MPa噴射量) 70l/min 49l/min